InGaAsP量子阱电泵浦光子晶体WGM微腔激光器与输出光波导的集成

本项目研究InGaAsP量子阱电泵浦光子晶体WGM微腔激光器与输出光波导的集成技术。针对激射波长1.55微米的InGaAsP量子阱激光器，采用六角周期的二维光子晶体结构，通过电子束光刻和ICP干法刻蚀技术制作出空气孔列阵，形成包络1.55微米波段的光子禁带。根据圆形或环形耳语回廊模式全内反射微腔激光器的结构参数，如圆直径及环宽度等，在空气孔列阵的光子晶体结构中制备出圆形光子晶体结构线缺陷，使量子阱激光器产生的光子被限制在这个线缺陷内，形成高效耳语回廊模式反馈振荡，实现激射。在此基础上，研制出具有直线形线缺陷的光子晶体输出光波导，与光子晶体微腔激光器集成在一起，使微腔激光器产生的激光耦合到波导中，以获得高效率定向光输出。. 耳语回廊模式微腔激光器体积小、效率高。其激光传播是在器件平面内部进行的，与其它耳语回廊模式器件，如谐振器、光开关等集成在一起可以实现超大规模集成。