大功率垂直腔面发射激光器的偏振控制

以垂直腔面发射激光器结构为基础，通过外腔输出镜构成的扩展腔可以实现高效腔内激光倍频，是激光显示光源的强有力竞争者。但垂直腔面发射激光器一般生长在（100）衬底上，其偏振方向的不稳定给其应用带来了不良影响，必须解决如何对垂直腔面发射激光器输出光束的偏振特性进行控制，以满足高效腔内晶体倍频产生蓝、绿光的需要。.要实现偏振控制，关键是在器件中构造非均匀腔和非均匀有源区。根据这个原则，针对大功率激光输出，本项目提出在P面制备非对称的台面结构和电极结构，使注入到有源区内的电流密度分布具有一定的方向选择性，从而使有源区内的光增益也具有方向选择性。而对N面出光表面通过生长制备密集排布的条形金属膜，利用金属膜形成一定的光反射，与N面DBR共同作用构成复合腔，使沿某一方向的反射率高于与其垂直方向的反射率，改变这两个方向上激射阈值条件，从而实现偏振的选择性控制，并获得大功率激光输出。