半导体微器件和纳米材料性能参数的拉曼光谱测定
基本信息
批准号：69876001
项目类别：面上项目
资助金额：14.00
负责人：张树霖
学科分类：
依托单位：北京大学
批准年份：1998
结题年份：2001
起止时间：1999-01-01 - 2001-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：高玉芝
关键词：
显微拉曼光谱半导体微器件低维纳米材料
结项摘要
用显微拉曼光谱技术，测量半导体微器件中掺杂注入浓度，缺陷损伤和应力等参数在微米尺度上的三维分布，以及确定低维纳米材料的本征拉曼谱及其与材料特性的关系；并进行高效廉价和使用方便的拉曼谱仪的原型机研究。
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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