大气压低温等离子体的发射光谱诊断研究

大气压低温等离子体具有节约能源、对真空设备要求低等优点，在许多领域都有重要的应用价值，然而，科学研究和应用开发都非常需要的等离子体诊断技术还有待进一步研究。本项目针对多种有代表性的大气压低温等离子体（包括直流微等离子体、射频辉光放电和微波微等离子体），研究它们的光谱特性与等离子体参数（电子能量分布、电子密度等）之间的关系。结合诊断实验与理论模型（碰撞辐射模型）的研究结果，建立大气压低温等离子体的电子能量分布和电子密度的发射光谱诊断方法。通过国际合作，将微等离子体的发射光谱诊断和激光诊断的结果进行比较和相互检验。在此基础上，再将发射光谱诊断方法与我们已有的二维空间分辨光谱测量技术结合起来，研究大气压微等离子体的空间自组织结构。本项目的结果将有效地促进对各种大气压低温等离子体装置的放电机理和放电特性的科学研究，也能为设计和优化工业大气压放电设备提供技术支持。

大气压低温等离子体具有节约能源、对真空设备要求低等优点，在许多领域都有重要的应用价值，本项目对科学研究和应用开发都非常需要的等离子体诊断技术进行了进一步研究。本项目针对几种有代表性的大气压低温等离子体（包括直流微等离子体和微波微等离子体），研究它们的光谱特性与等离子体参数（电子能量分布、电子密度等）之间的关系。结合诊断实验与理论模型（碰撞辐射模型）的研究结果，建立了大气压低温等离子体的电子能量分布和电子密度的发射光谱诊断方法。在此基础上，再将发射光谱诊断方法与我们已有的二维空间分辨光谱测量技术结合起来，研究大气压微等离子体的空间自组织结构。本项目的结果有效地促进了对各种大气压低温等离子体装置的放电机理和放电特性的科学研究，也能为设计和优化工业大气压放电设备提供了技术支持。