STM.AFM探针悬臂微细加工技术的理论与方法研究

STM、AFM探针悬臂梁（即传感器）微细加工技术的理论与方法项目研究了使用要求，制出图表结构设计和用有限无结构优化设计法设计了传感器。对其微机械加工关键技术的理论与方法进行了实验研究。在悬臂梁厚度上用KOH溶液两步法P+自停止腐蚀精度达到0.1um。用RIE与湿法结合，以SiO2为掩模，SF6刻蚀硅，实现了悬臂梁探针一次成形，节省了掩模版。用湿法腐蚀对探针进行锐化，针尖半径红50nm。制定了较有特点的适合批量生产传感器机械加工工艺。首次研成用象散法测试传感器固有频率和力弹性常数的装置，制出的传感器在AFM上进行了实例，效果良好。发表了9篇论文，已被《中文科技期刊数据库》引用3篇。培养了2名研究生。有应用前景。