微晶/非晶硅合金超晶格的制备和物理效应

在不同的电极耦合方式和沉积条件下制取或微晶态，或非晶态的硅氢合金亚层材料。通过改进设备系统，达到不中断气源和辉光放电状态连续制膜，成功地制备出三类新型微结构调制超晶格。研究了超晶格的微结构，能源，光电性质与制备条件的关系。深入地观察分析了超晶格的多种重要物理效应。如电导—温度关系中的反常效应，在340K附近出现的负阻现象，可归因子量量共振隧道效应。又如超晶格特有的持续光电导效应（PPC）也被观察到。由电子能谱研究确定了超晶格的能带结构图和价带间不连续值。激活能与亚层厚度的关系表明超晶格已具有量子尺寸效应。研究结果在多种刊物上发表和将发表共6篇。本成果被有关专家评价为在该领域具有推动性作用。