基于DNA自组装技术的室温单电子晶体管制造

单电子晶体管能够在纳米尺度实现逻辑操作，将在未来纳米集成电路中扮演非常重要的角色。目前由于受到制备手段的限制，不能对室温单电子晶体管实现批量化、低成本、一致性的制造，限制了其广泛应用。因此，实现室温单电子晶体管的低成本可靠制造是一个非常艰巨的挑战！.本申请书提出基于DNA自组装技术的室温单电子晶体管制造。首先通过"自下而上"DNA自组装构建DNA二维模板,然后在模板上特异性修饰纳米粒子并对其进行矿化,制造单电子晶体管的量子点-源-漏-栅极核心结构。将该核心结构与微电子工艺并行制造的单电子晶体管的外围金属互连电极进行集成，实现室温单电子晶体管的制造。这种基于DNA技术的纳米制造手段将为单电子晶体管的规模应用提供一种切实可行的方法。更为重要的是，DNA纳米技术可以根据不同功能纳米电子器件的要求，设计特定的DNA结构，提供个性化的制造手段，这种新的方法将为下一代纳电子器件提供一种全新的制造技术。

单电子晶体管能够在纳米尺度实现逻辑操作，将在未来纳米集成电路中扮演非常重要的角色。目前由于受到制备手段的限制，不能对室温单电子晶体管实现批量化、低成本、一致性的制造，限制了其广泛应用。本项目提出基于DNA自组装技术的室温单电子晶体管制造。首先通过“自下而上”DNA自组装构建DNA二维模板,然后在模板上特异性固定金纳米粒子和金纳米棒,制造单电子晶体管的量子点-源-漏-栅极核心结构。将该核心结构与微电子工艺并行制造的单电子晶体管的外围金属互连电极进行集成，实现室温单电子晶体管结构的制造。这种基于DNA技术的纳米制造手段将为单电子晶体管的规模应用提供一种切实可行的方法。在本项目的资助下，我们进一步尝试了利用DNA自组装技术制造具有结构依赖的优异光学特性的纳米结构。