本课题提出利用微电子技术、MEMS技术和传感器技术等,依据光生应力效应探测红外辐射的原理,研究将金属-半导体微悬臂梁敏感元和光学读出系统等一体化混合集成的相关基础理论和关键技术,以构成一种全新概念的微机械光子探测器。微机械光子探测技术是制备非制冷光子型红外传感器的新技术,它具有灵敏度高、响应时间短、采用光学读出、无须制冷等优点,是红外传感技术的一个新突破。对微机械光子探测技术的研究可望为新颖的红外
{{i.achievement_title}}
数据更新时间:2023-05-31
基于图卷积网络的归纳式微博谣言检测新方法
极地微藻对极端环境的适应机制研究进展
双粗糙表面磨削过程微凸体曲率半径的影响分析
聚酰胺酸盐薄膜的亚胺化历程研究
基于结构滤波器的伺服系统谐振抑制
超导纳米线单光子探测技术研究
基于压缩采样的光子计数相干探测技术研究
面向玻色采样量子计算的光子探测技术研究
金属微腔耦合太赫兹量子阱光子探测器研究