微机械光子探测技术研究
基本信息
批准号：60307006
项目类别：青年科学基金项目
资助金额：7.00
负责人：张流强
学科分类：
依托单位：重庆大学
批准年份：2003
结题年份：2004
起止时间：2004-01-01 - 2004-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：胡松,蒋子平,李星海,钟志鑫
关键词：
光子探测器红外探测器微机械MEMS
结项摘要
本课题提出利用微电子技术、MEMS技术和传感器技术等，依据光生应力效应探测红外辐射的原理，研究将金属-半导体微悬臂梁敏感元和光学读出系统等一体化混合集成的相关基础理论和关键技术，以构成一种全新概念的微机械光子探测器。微机械光子探测技术是制备非制冷光子型红外传感器的新技术，它具有灵敏度高、响应时间短、采用光学读出、无须制冷等优点，是红外传感技术的一个新突破。对微机械光子探测技术的研究可望为新颖的红外
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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