射频MEMS开关的失效机理及其高可靠长寿命实现技术

RF MEMS 开关是具有广泛应用前景、最基础的微致动控制器件之一。国内、外学者的诸多应用研究结果均已表明了RF MEMS开关具有无与伦比的系统集成特点和出色的工作性能；但是，如何实现其高可靠性及长寿命这一问题仍然是RF MEMS开关大规模商品化的瓶颈。本项目将以静电吸附失效机理的理论模型研究为基础，探索RF MEMS开关早期失效的解决方案。以学术界尚不十分明确的RF MEMS 开关电介质层中电荷积累和弛豫机理作为本项目的理论攻坚；研究具有快速电荷驰豫机理的微纳米复合介质膜；探索微纳米层表面改性技术，设计低损耗多层内埋放电机制层介质结构；开发新设计和新工艺，创制微致动件工作微环境；设计静电调制波形，新型密封技术，为研制用于我国高技术领域的高可靠性、长寿命的RF MEMS开关器件提供理论支撑和技术积累。