T型触点射频MEMS开关的制备及其形变的光学干涉法研究
基本信息
批准号：60301006
项目类别：青年科学基金项目
资助金额：5.00
负责人：于映
学科分类：
依托单位：福州大学
批准年份：2003
结题年份：2004
起止时间：2004-01-01 - 2004-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：陈跃,李静,吴清鑫,颜峻
关键词：
射频开关残余应力光干涉法MEMS
结项摘要
射频MEMS开关具有低插入损耗、高电隔离、宽频带、体积小、重量轻等特点，在通信领域中具有很好的应用前景。本项目拟制作欧姆接触式射频MEMS开关，设计T型触点替代平面型触点，有效地减小触点部分的形变，从而减小开关闭合时的接触电阻;采用光干涉法对开关在"闭合"、"断开"两种状态下悬梁的形变进行测量，研究材料在细微尺度下的机械性能，分析薄膜材料残余应力产生的应变及其对材料机械性能的影响；研究不同的制作方
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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