现代三维多层集成电路由于复杂度高,系统尺寸小,面临电磁场特性建模与快速仿真等方面的难题与挑战。本项目研究多分辨率RWG基函数、高阶叠层基函数的构造与应用,推导适合于加法定理展开的媒质介质空域格林函数,并运用到三维多层复杂电路的多层快速多极子分析中。采用撕裂对接有限元法对三维多层复杂集成电路进行区域分解,降低未知量的数目和计算复杂度。研究高效的多步混合预条件技术应用于加速多层快速多极子方法与有限元方法线性系统方程的迭代求解速度,完成三维多层复杂集成电路特性分析程序软件编写与调试。在此基础上面向实际工程应用,利用所开发的软件,对三维多层复杂集成电路的典型类型和各种形状互连结构进行数值模拟和实验研究相结合,测试验证软件的正确性。
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数据更新时间:2023-05-31
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