悬臂梁微尖端阵列器件加工及应用技术研究
基本信息
批准号：60576053
项目类别：面上项目
资助金额：27.00
负责人：陈大鹏
学科分类：
依托单位：中国科学院微电子研究所
批准年份：2005
结题年份：2008
起止时间：2006-01-01 - 2008-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：董立军,焦斌斌,王纬冰,石莎莉
关键词：
信息存储悬臂梁微尖端阵列MEMS纳米加工
结项摘要
本项目的研究目标是采用MEMS技术制作电热驱动的悬臂梁微尖端阵列器件，并利用微尖端阵列器件的纳米加工能力探索将该器件用于进行信息存储和纳米图案加工的原理和实验技术研究。研究内容包括：1.集成有电热驱动器与微尖端的8*8悬臂梁阵列器件的制做工艺；2.将图版文件输出数据转化为可用于控制微动台精细丝杆和压电晶体的电压信号的转换程序；３．实现信息存储和纳米图案加工的新原理技术和图形加工实验系统。本方案的提
项目摘要
项目成果
{{index+1}}
{{i.achievement_title}}
{{i.achievement_title}}
DOI：{{i.doi}}
发表时间：{{i.publish_year}}
暂无此项成果
数据更新时间：2023-05-31
其他相关文献
1
基于LS-SVM香梨可溶性糖的近红外光谱快速检测
基于LS-SVM香梨可溶性糖的近红外光谱快速检测
DOI：
发表时间：
2
信息熵-保真度联合度量函数的单幅图像去雾方法
信息熵-保真度联合度量函数的单幅图像去雾方法
DOI：10.3724/SP.J.1089.2019.17435
发表时间：2019
3
高分五号卫星多角度偏振相机最优化估计反演:角度依赖与后验误差分析
高分五号卫星多角度偏振相机最优化估计反演:角度依赖与后验误差分析
DOI：10.7498/aps.68.20181682
发表时间：2019
4
制冷与空调用纳米流体研究进展
制冷与空调用纳米流体研究进展
DOI：10.3969/j.issn.1001-9731.2021.11.009
发表时间：2021
5
城市生活垃圾热值的特征变量选择方法及预测建模
城市生活垃圾热值的特征变量选择方法及预测建模
DOI：10.11936/bjutxb2021010011
发表时间：2021
陈大鹏的其他基金
批准号：81300006
批准年份：2013
资助金额：23.00
项目类别：青年科学基金项目
批准号：18770358
批准年份：1987
资助金额：2.00
项目类别：面上项目
批准号：19272059
批准年份：1992
资助金额：7.00
项目类别：面上项目
相似国自然基金
1
新型微悬臂梁阵列免疫传感器研制
批准号：11127201
批准年份：2011
负责人：伍小平
学科分类：A0812
资助金额：300.00
项目类别：专项基金项目
2
双极性工具电极微细电解加工微坑阵列技术研究
批准号：50875129
批准年份：2008
负责人：曲宁松
学科分类：E0509
资助金额：35.00
项目类别：面上项目
3
动静态结合的微悬臂梁阵列联合检测机理及传感器系统研究
批准号：61571430
批准年份：2015
负责人：于海涛
学科分类：F0123
资助金额：51.00
项目类别：面上项目
4
微纳光电子器件功能集成和微细加工技术研究
批准号：90401008
批准年份：2004
负责人：李宝军
学科分类：F0502
资助金额：24.00
项目类别：重大研究计划