悬臂梁微尖端阵列器件加工及应用技术研究
基本信息
批准号：60576053
项目类别：面上项目
资助金额：27.00
负责人：陈大鹏
学科分类：
依托单位：中国科学院微电子研究所
批准年份：2005
结题年份：2008
起止时间：2006-01-01 - 2008-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：董立军,焦斌斌,王纬冰,石莎莉
关键词：
信息存储悬臂梁微尖端阵列MEMS纳米加工
结项摘要
本项目的研究目标是采用MEMS技术制作电热驱动的悬臂梁微尖端阵列器件，并利用微尖端阵列器件的纳米加工能力探索将该器件用于进行信息存储和纳米图案加工的原理和实验技术研究。研究内容包括：1.集成有电热驱动器与微尖端的8*8悬臂梁阵列器件的制做工艺；2.将图版文件输出数据转化为可用于控制微动台精细丝杆和压电晶体的电压信号的转换程序；３．实现信息存储和纳米图案加工的新原理技术和图形加工实验系统。本方案的提
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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