自对准双层薄膜量热计的研究

薄膜量热计应用于微纳米薄膜的量热测试研究已有十余年。其中，快速扫描量热法以其连续量热、快速测量、灵敏度高等优点在微纳米薄膜中高温区热力学参数测量领域获得了各国研究者的重视。目前的薄膜量热计大多采用体硅加工工艺，并且样品薄膜的定位淀积采用穿孔掩模技术。由于工艺精度差，导致了薄膜量热计的面积大、快速量热过程中样品区温度分布不均匀等问题，对量热结果尤其是熔点附近的测试结果造成较大的测量误差，已经引起研究者们的广泛关注。本项目首次提出一种自对准双层薄膜量热计结构，不但可以将量热计样品区做的足够小以改善快速量热中的温度均匀性，而且避免了加工难度较高的穿孔掩膜的制备以及该技术定位精度差的缺点，有望研制出更小、更快、更准的薄膜量热计。本项目的成果应用在薄膜热容测量领域，对于微纳米薄膜微尺度热现象的研究工作有着重要的科学研究价值。同时，双层悬空膜片技术的开发在MEMS研究领域也有重要意义和广泛应用前景。