XF2（X=S,Mo,W）自由基电子激发态光谱及动力学研究
基本信息
批准号：29873046
项目类别：面上项目
资助金额：12.00
负责人：俞书勤
学科分类：
依托单位：中国科学技术大学
批准年份：1998
结题年份：2001
起止时间：1999-01-01 - 2001-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：王储记,张群,周晓国,孙海虹
关键词：
自由基电子激发态光谱动力学
结项摘要
SF2MoF2及WF2自由基是半导体工业的等离子体蚀刻过程中一个重要的中间产物，此类自由基的光谱及动力学研究对了解其能级结构，化学活性，光电离及解离等动力学过程起着关键作用。本课题拟用直流脉冲放电方法产生所需的自由基，通过激光诱导荧我光谱和共振增强多光子电离光谱测量，结合同步辐射光吸收，光电离及荧光激发谱测量，深入研究指定自由基电子激发态能级结构及其解离动力学过程。
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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