微流体驱动光学波前校正器的理论与关键技术研究

将微流体驱动技术应用于自适应光学，结合微流体操纵技术、硅微细加工技术、薄膜技术，提出以微液体单元为驱动器、液体基底上生成反射薄膜的波前校正器新原理，研究其理论问题与关键基础技术。探索微液体单元形态参数随驱动电压、负载等因素变化的规律；建立波前校正器的微观动力学模型，仿真分析各种布局、结构参数下可以实现的波前拟合能力；探索实现原理的关键工艺技术。.与传统宏观或微机械波前校正器相比，此原理可以实现更好的波前细节拟合能力，消除由驱动器与镜面连接应力造成的高阶像差；其结构与制作工艺大为简化，成本大幅度下降。该原理的实现将促进自适应光学系统的普及应用，在天文观测、医疗诊断（例如人眼视网膜细胞成像）、光通讯、激光光束整形、激光加工与治疗等领域具有广阔应用前景。所涉及的微光学元件流体驱动新方法将为微光机电系统中其它光学元件的集成、驱动开辟一条崭新的途径。