激光无导轨内伺服精密测长系统研究

本系统以迈克尔逊干涉光路为基本布局，通过伺服参考臂至双端程差平衡途径，从而得到从分束点到合作目标的绝对距离，且无需其在导轨上作测量位移。 这是一种干涉定位与干涉计量相结合的新方法。在研究过程中，已分别对纯机械伺服，电磁致变折射伺服，振荡调制伺服，光束干涉面分割判测伺服等多种方法进行近百次研究。实验证明，以干涉面分割为基础的综合系统能接近最初立题要求。此系统的显著特点是系统启动后较易在数百微米范围内判断伺服方向，正确实现了与粗测的衔接，从而达到预期的测量精度，使误差控制在每米数微米之内。对系统的研究已形成四篇论文，其中两篇已发表并在国际会议上交流，获好评，且被ISTP引用收录。