基于碳纳米管的微纳光电传感单元集成化技术的研究

碳纳米管具有准一维结构，呈现弹道电传输特性，通过直径的改变可轻易地调节其能带宽度，是一种极具潜力的光敏感材料。但如何分析微纳传感单元的制作工艺对碳纳米管光响应光谱特性的影响，将纳米级敏感元件的敏感信息通过微米级的电极进行有效地传递，目前尚处于探索中。本项目在前期基于碳纳米管的微纳单元研究的基础上（已定向生长出长度达几百微米的碳纳米管），将微细加工技术和碳纳米管的定向生长制备技术相融合，开展基于碳纳米管的微纳光电传感单元集成化的相关理论和关键工艺研究。通过工艺实验及其光响应光谱敏感机理和特性的研究，研制相应的实验样品，分析微纳接触效应及其微纳工艺与光响应光谱曲线的关系，探索微纳结合和微纳光电传感单元集成化的关键技术和兼容性工艺，从而为研制开发新型的微纳光电传感器件提供一定的理论和技术支持。