微波、毫米波开关电路基础研究

探索基于纳米结构的二氧化钒多晶薄膜材料作为微波、毫米波开关电路结构的可行性；研究利用这种新材料，设计和制造微波、毫米波开关电路的方法，测试其性能参数，完成应用基础研究。在材料研究方面：改善纳米结构二氧化钒薄膜的制造方法和深入探讨其微观机理，研究它的半导体-金属相转变规律和纳米结构二氧化钒薄膜转变温度继续向室温靠拢的现象，实现相转变温度调控在30-35℃范围内；研究它的电阻开关率和相转变速度，使其满足微波、毫米波开关电路的要求。在器件研究方面：设计和制造出几种适合于微波、毫米波应用的开关电路结构，例如电寻址结构、光寻址结构和微桥结构等；测定它们的性能参数，例如开关速度、插入损耗、可靠性和功耗等，为评估它们的应用前景提供充分的依据。