谐振式硅微结构压力传感器优化设计与闭环系统实现

以电阻激励、压阻拾振的谐振式硅微结构压力传感器为背景，实现硅微传感器在全量程内稳定可靠地以闭环方式工作，保证传感器性能，优化设计微传感器的整体结构参数：激励、拾振电阻的设置与参数以及自激电路的结构开式；针对硅微敏感器实际样性实现微传感器闭环样机。研究工作将突破国外在该技术领域上对我国的封锁，增强独立研制微传感器的能力。