表面横向模谐振式无线压力传感器的研究
基本信息
批准号：60774052
项目类别：面上项目
资助金额：25.00
负责人：韩韬
学科分类：
依托单位：上海交通大学
批准年份：2007
结题年份：2010
起止时间：2008-01-01 - 2010-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：吉小军,蔡萍,水永安,陈智军,韩宇林,左友康
关键词：
无线表面横向模式压力传感器
结项摘要
为进一步改善声表面波无线压力传感器准确度、量程和温度稳定性等性能，利用石英基片上表面横向模式压力灵敏度高，谐振器加载Q值高和插损低的特点，设计用于"智能轮胎"的高准确度谐振式压力传感器。采用分布间隙"打嗝"结构，解决表面横向模式谐振器电学特性受工艺误差影响大这个制约表面横向模式压力传感器实用化的关键问题。采用"顶针- - 悬臂梁"结构提高传感器灵敏度和量程。通过选择零温度系数切向、差动补偿和优化传感器结构三种措施解决由于传感器封装的弹性体材料与石英的热膨胀系数不同造成预应力变化而引起的频率变化，实现-40℃-150℃宽温度范围内的温度漂移补偿。
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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