微小型过程机械高温封装的仿真研究

本研究针对微小型过程机械的封装技术，以微小型高温装置的Ni基钎焊为研究对象，进行制造过程的仿真研究。通过小冲孔高温试验，研究加载、冲杆位移和冲杆速度与材料蠕变变形的关系，准确测量钎料的蠕变变形和断裂，为钎焊冶金过程和多层结构高温封焊过程变形的数值模拟提供基本的材料性能数据。考虑材料热物理性能参数（如热传导率、密度、比热容等）随温度的变化，计算模拟钎焊冶金过程以及所带来的残余应力分布。利用有限元分析方法，对多层结构封焊过程的变形开展数值模拟，研究多层槽板结构在高温钎焊过程中的蠕变变形。结合实际多层结构钎焊试验，校验数值模拟结果的可靠性。通过钎焊结构的仿真研究，优化封焊工艺和材料，提高微小型过程机械装置的制造质量。