射频辉光放电光源中原子的形成和激发、电离机理的研究

国内首次研制成功了用于原子发射光谱分析rf辉光放电源，组装成功国内第一台rf辉光放电原子发射光谱分析系统。它可对固体（导体、半导体和绝缘体）进行分和表面逐层分析。高频振荡下电子在样品和阳极间反射，增加停留时间，增大容积离化，增加了对溅射原子和气体原子碰撞截面，提高溅射率。rf放电可以比直流辉光放电低得多的气压下工作，因此对提高元素测定下限和测定灵敏度非常有好处；实验表明：在优化放电条件下，rf溅射坑底平和边缘效应可达忽略不计，因而建立rf辉光放电分析和逐层分析新技术有广泛应用前景和巨大潜力。为新材料科学与工程基础研究，优化材料表面改性工艺和材料可靠性评估提供信息。