磁场强化辉光放电光源中原子的形成和激发机理研究

基本信息
批准号:29375217
项目类别:面上项目
资助金额:6.50
负责人:任建世
学科分类:
依托单位:中国科学院金属研究所
批准年份:1993
结题年份:1996
起止时间:1994-01-01 - 1996-12-31
项目状态: 已结题
项目参与者:张功抒,赵惠林
关键词:
阴极溅射辉光放电激发和电离
结项摘要

首次提出辉光放电阴极放电区域限制的新方法,加以Nd-Fe-B永久磁体,研制成功磁场强化原子发射光谱分析用新型辉光放电灯。由于采用新的限制方法,所以既可以分析平板状样品,也同样可以分析和逐层分析球状样品。在电场和磁场双重作用下,增加了电子与溅射原子和气体分子的碰撞几率,从而改变了辉光放电等离子体电的和光的性质。实验表明,在固定电压和气压条件下,磁场强化辉光放电灯的放电电流、溅射率和发光强度有明显的增加和增强,而且溅射凹坑底面平整性明显改善,因此新型灯在用于表面和表面逐层分析时对改善测定下限和提高层间分辨率有很大的好处,具有较广泛的应用前景。

项目摘要

项目成果
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数据更新时间:2023-05-31

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