声表面波高温压力温度组合敏感理论与优化结构研究

在前期对硅酸镓镧（LGS）的声表面波（SAW）特性及压力敏感切向进行理论分析、优化计算和实验研究的基础上，针对研究过程中发现的器件温度交叉敏感严重、传统补偿方法效果不理想、输出信号稳定性差、缺乏有效分析和设计理论等问题，本项目将以弹性力学的有限变形理论、偏载扰动理论和有限元分析方法为基础，研究声表面波压力、温度交叉敏感的非线性耦合模型，创新性地提出通过设计纵横应力比可调的平面结构敏感基片，实现高温条件下较宽温度范围内压力温度组合敏感和实时自补偿的新思路；研究实现此目的敏感结构、技术途径及相应的SAW微弱信号检测、传输与处理算法，开发基于新型材料LGS的SAW微型高温压力温度组合传感系统，为解决军事、航空航天、汽车、能源化工等领域中高温恶劣环境下气体和液体的压力温度测量问题打下理论和技术基础。