有机复合薄膜激光感应电导和微图形制备研究

采用有空蒸发及脉冲激光沉积制备出了银一聚酰亚胺复合薄膜,利用Q开关YAG激光器四次谐波对该复合薄膜进行了激光感应导电实验。使该复合薄膜的永久电导率由10(-17)Ω(-1)cm(-1)提高到1-10Ω(-1)cm(-1),提高了17个数量级,以此为基底,利用脉冲电镀涂敷技术,进一步将永久电导率提高到10(4)-10(5)Ω(-1)cm(-1),相当于铜的电导率.并实现了100mm线宽的微图形制备。利用逾渗理论及计算机模拟，研究了聚酰亚胺薄膜及其复合薄膜的激光感应导电机理，首次利用计算模拟预示出该薄膜材料在激光感应导电相变阈值附近，其介电系数有4-5倍增大，此外，还首次利用聚酰亚胺复合薄膜进行了场电子发射实验，发现它可作为一种新型冷阴极发射材料。上述一些研究工作在微电子工业领域有着应用前景。