电枢磁场同步平移式长行程磁浮工作台的基础理论与实验研究

磁浮XY工作台具有结构简单、基座表面无需精密加工、可实现非运动自由度主动控制、易在真空环境中应用等优点，在现代精密、超精密加工装备中已经获得初步应用，但是，由于受到电磁结构和运行方式的影响，目前磁浮XY工作台的相对行程很小，且运动台惯量偏大，限制了其在长行程高档加工设备中的应用。本项目拟开展高性能长行程磁浮XY工作台的基础理论与实验研究，提出将电磁场二维同步平移原理应用于磁浮XY工作台中的新颖思路，在已经提出的基本电磁结构基础上，进一步细化有关电磁结构，完善运行原理，解决磁浮力特性分析、机电系统动力学建模、系统电磁特性与机械特性分析、控制策略与控制算法设计等若干基础理论问题，并构建原理样机一台，进行有关测试、实验与评价，为开展该类型磁浮XY工作台的更加系统和全面的研究奠定基础。