硅基兰姆波型声子晶体器件的设计、制备和表征

声子晶体是对应于光子晶体而言的弹性周期复合体，其显著的特性是声禁带的存在。当弹性波频率落在禁带范围内时，弹性波被禁止传播；当存在点缺陷或线缺陷时，弹性波会被局域在点缺陷处或只能沿线缺陷传播。通过对声子晶体周期结构及缺陷的设计，可以人为调控弹性波的传播。另一方面，利用薄板中传播的兰姆波实现化学传感和传动、微质量输运等方面的研究越来越引起重视，结合微器件加工（硅技术和薄膜技术），可制备小型或超小型声MEMS系统，其高机械精度和高稳定性对微机器人、微光学中的微定位十分重要，而超小型化对研制高频超声成象换能器阵列也是至关重要的。本项目结合申请人近年来在这二个方面的工作，研究在硅基及硅基+PZT薄膜系统（周期和准周期）上实现兰姆波型声子晶体的设计原理、制备技术和表征方法，探讨兰姆波型声子晶体在声MEMS的传感、传动和微输运等方面的应用。