多层氧化物半导体功能薄膜材料及其应用研究

基本信息
批准号:69076410
项目类别:面上项目
资助金额:4.50
负责人:马晓翠
学科分类:
依托单位:吉林大学
批准年份:1990
结题年份:1993
起止时间:1991-01-01 - 1993-12-31
项目状态: 已结题
项目参与者:阎大卫,康昌鹤
关键词:
气体敏感特性多层氧化物半导体薄膜结构
结项摘要

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项目成果
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数据更新时间:2023-05-31

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