多层氧化物半导体功能薄膜材料及其应用研究
基本信息
批准号：69076410
项目类别：面上项目
资助金额：4.50
负责人：马晓翠
学科分类：
依托单位：吉林大学
批准年份：1990
结题年份：1993
起止时间：1991-01-01 - 1993-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：阎大卫,康昌鹤
关键词：
气体敏感特性多层氧化物半导体薄膜结构
结项摘要
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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