微电子工业中低气压放电等离子体不稳性与控制的研究
基本信息
批准号：69571006
项目类别：面上项目
资助金额：10.00
负责人：马腾才
学科分类：
依托单位：大连理工大学
批准年份：1995
结题年份：1998
起止时间：1996-01-01 - 1998-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：邓新绿,王友年,郭淑红,吴桂林,刘金远,吴东江,陈松岩
关键词：
等离子体不稳定性反馈控制尘埃等离子体
结项摘要
理论上首次揭示了微波电等离子体的多稳态,为模式跃变不稳定性提供了理论依据,特别是提出在一定的放电条件下存在唯一的稳态稳态放电,通过调控放电功率可以实现现这种稳放电.根据这各理论,在ECR微波等离子体离子注渗工艺条件;用自恰理论首次研究了外磁场,辐射热,旋转气流和反应热对电弧等离子体不稳定性的影响,给出不稳定性判据和增长率,在理论上发现鞘层中尘埃粒子的密度和电荷扰动可激发离子声波不稳定性,给出了不稳定性判据和增长率,并指出调控靶上的负偏压可以控制尘埃粒子在鞘层空间的分布,不适当的负偏压可导致鞘层的崩埸,从而破坏微加工的工艺条件.
项目摘要
项目成果
{{index+1}}
{{i.achievement_title}}
{{i.achievement_title}}
DOI：{{i.doi}}
发表时间：{{i.publish_year}}
暂无此项成果
数据更新时间：2023-05-31
其他相关文献
1
端壁抽吸控制下攻角对压气机叶栅叶尖 泄漏流动的影响
端壁抽吸控制下攻角对压气机叶栅叶尖 泄漏流动的影响
DOI：
发表时间：2020
2
基于ESO的DGVSCMG双框架伺服系统不匹配 扰动抑制
基于ESO的DGVSCMG双框架伺服系统不匹配 扰动抑制
DOI：
发表时间：2018
3
多源数据驱动CNN-GRU模型的公交客流量分类预测
多源数据驱动CNN-GRU模型的公交客流量分类预测
DOI：10.19818/j.cnki.1671-1637.2021.05.022
发表时间：2021
4
基于结构滤波器的伺服系统谐振抑制
基于结构滤波器的伺服系统谐振抑制
DOI：10.3788/OPE.20192708.1811
发表时间：2019
5
创新地理学的批判性思考--基于中国情境的理论创新
创新地理学的批判性思考--基于中国情境的理论创新
DOI：10.11821/dlyj020191115
发表时间：2020
马腾才的其他基金
批准号：10475014
批准年份：2004
资助金额：36.00
项目类别：面上项目
批准号：50177002
批准年份：2001
资助金额：20.00
项目类别：面上项目
批准号：18780101
批准年份：1987
资助金额：6.00
项目类别：专项基金项目
批准号：19235042
批准年份：1992
资助金额：12.00
项目类别：重点项目
批准号：19185001
批准年份：1991
资助金额：5.00
项目类别：专项基金项目
相似国自然基金
1
大气压直流辉光放电等离子体不稳定性及控制研究
批准号：10475014
批准年份：2004
负责人：马腾才
学科分类：A2901
资助金额：36.00
项目类别：面上项目
2
大气压纳秒脉冲均匀体积放电等离子体形成机理及不稳定性控制研究
批准号：10775027
批准年份：2007
负责人：任春生
学科分类：A2901
资助金额：36.00
项目类别：面上项目
3
低气压电负性射频容性放电的条纹不稳定性研究
批准号：11875100
批准年份：2018
负责人：刘永新
学科分类：A2907
资助金额：66.00
项目类别：面上项目
4
低气压气体放电电子束及在微电子加工方面的研究
批准号：69081907
批准年份：1990
负责人：杨正名
学科分类：F0122
资助金额：5.00
项目类别：专项基金项目