低气压气体放电电子束及在微电子加工方面的研究

基本信息
批准号：69081907
项目类别：专项基金项目
资助金额：5.00
负责人：杨正名
学科分类：
依托单位：东南大学
批准年份：1990
结题年份：1992
起止时间：1991-01-01 - 1992-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：George,王宗进,张翼祥,杨根兴,罗宗南
关键词：
气体放电强电子束
结项摘要

项目摘要

项目成果
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数据更新时间：2023-05-31

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