CMOS工艺兼容前均衡光电集成接收机研究

研究CMOS工艺兼容的高速光电探测器、前均衡器、高阻放大器以及它们的集成方法。研究如何用现代CMOS工艺提供的元器件设计出低插入损耗的前均衡器，研究不同结构的前均衡器以及它们提高速度的机理，研究光电探测器、前均衡器、高阻放大器组合提高速度和灵敏度的机理，设计高速，高灵敏度的光电集成接收机电路和版图，制备出CMOS光电集成接收机。本项目拟通过提高探测器的面积，来提高接收信号强度，采用前均衡器来解决探测器面积增大引起的带宽下降。采用高阻低噪声放大器降低噪声，提高灵敏度。采用这些措施后的光电集成接收机可以用于实用，用于取代现行的混合集成接收机。CMOS工艺兼容的光电集成接收机去掉了混合集成接收机的化合物探测器和金属键合线，可以提高速度，可使芯片面积减小，使接收机的光学和电学封装简化，制作成本降低，可靠性好，易于工业化。