采用纳米分子筛膜增敏的MEMS红外光声气敏传感器系统
基本信息
批准号：90607015
项目类别：重大研究计划
资助金额：28.00
负责人：黄宜平
学科分类：
依托单位：复旦大学
批准年份：2006
结题年份：2008
起止时间：2006-07-01 - 2008-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：鲍敏杭,胡光喜,纪新明,王国勋,程正喜,杨涓涓,顾欣炜
关键词：
气敏传感器红外光声传感器MEMS
结项摘要
红外光声气敏传感器利用气体的特征光谱进行测量，具有优越的选择性、灵敏度和稳定性，已经得到应用。然而常规的红外光声气敏传感器体积较大，难以实现微型化、智能化和网络化，以满足环境监测、反恐、防恐和应对突发事件等对气敏传感器提出的更高要求。.本项目研究一种新型MEMS红外光声气敏传感器系统。将采用微机械加工工艺，把MEMS红外调制辐射源，窄带薄膜滤光片，一维纵向光声腔，硅基微传声器等部件集成为体积仅为几
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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