肖特基接触金属对AlGaN势垒层应变影响研究

近些年来，AlGaN/GaN异质结场效应晶体管（AlGaN/GaN HFET）一直作为半导体电子器件研究领域的热点而引起人们的广泛关注和极大兴趣。AlGaN/GaN异质结构的肖特基接触是AlGaN/GaN HFET的重要组成部分，肖特基接触金属对AlGaN势垒层应变的影响至今未见有报道，而肖特基接触金属对AlGaN势垒层应变的影响将改变AlGaN/GaN异质结构二维电子气密度等相关参数，由此对AlGaN/GaN HFET器件特性产生重要影响。本项目拟在通过AlGaN势垒层面极化电荷密度的分析计算，获取肖特基接触金属对AlGaN势垒层应变影响的信息，研究肖特基金属电子与AlGaN势垒层界面相互作用的机制，建立肖特基金属对AlGaN/GaN异质结构AlGaN势垒层应变影响的作用模型，以此推动GaN基电子器件研究的深入和发展。