激光扫描原位淀积大面积超导薄膜

大面积均匀的超导薄膜在微波器件领域有着广阔的应用前景。虽然激光沉积技术是制备高Tc超导薄膜最有效的方法之一，但如何提高薄膜的大面积均匀性一直是人们所致力解决的关键问题。为此本项目提出了采用激光扫描沉积的方法来改善超导薄膜的大面积均匀性。首先深入研究了激光诱导等离子体的空间分布和飞行时间谱等特性；在此基础上数值模拟了激光扫描沉积大面积薄膜厚度分布与激光扫描半径及轨迹等参数的关系，为实验研究提供了理论指导，并与大量实验结果吻合得很好；采用该方法所淀积出的YBCO超导薄膜的均匀面积比激光不动时所沉积薄膜的均匀面积扩大了10倍以上。结果表明：该方法是提高大面积超导或其它材料薄膜均匀性的一个行之有效的途径；已获国家发明专利。