高度混合产品批间控制的研究

半导体制造是目前世界上发展最为迅速的产业。由于资金的高投入，因此对设备的利用率有着很高的要求，这就造成了产品高度混合的生产形态。高度混合产品系统对半导体制程的控制提出了新的挑战。本课题针对高度混合产品系统的特点，解决混合产品控制中遇到的理论与实际问题，研究：1)高度混合系统状态估计算法；2)高度混合系统的生产调度与控制问题；3)高度混合产品系统的采样策略；4)高度混合产品系统的性能监测与性能评估。为半导体企业的生产与加工提供控制理论基础和应用的依据。

由于半导体产业资金的高投入，因此对设备的利用率有着很高的要求，这就造成了产品高度混合的生产形态。本课题针对高度混合产品系统少量多样的特点，研究并解决了以下问题：1)对现有混合产品批间控制方法进行综述与总结，并指出了混合产品批间控制方法将来的研究重点与方向；2)提出了基于变折扣因子的single EWMA控制器设计方法，解决了固定折扣因子EWMA控制器存在初始偏差时收敛速度慢的缺点，可以有效提高少量产品的良率；3)提出了基于变折扣因子的double EWMA控制器的设计方法，有效的解决了double EWMA控制器调节问题，在消除漂移扰动的前提下，保证产品输出收敛于期望值；4)double EWMA控制器的性能评估及再调节方法，可以有效的提升现有控制器的控制性能。通过仿真验证，所提出的方法可以有效的提高系统控制性能，提高产品良率，消除各种扰动对产品质量的影响。。该项目在发表论文方面，发表学术论文9篇，其中SCI收录2篇，EI收录4篇。在人才培养方面，培养3名硕士研究生,2名本科生。该项目的研究成果为我国半导体制造产业的发展提供相应的理论基础和技术储备。