混合产品的容错的批间控制方法研究

目前半导体工业多为"少量多样"的混合产品制程，如何能保证其稳定性和可靠性是一个重要的研究问题。近年来，批间控制已经成为研究热点，它是一种提高过程质量，满足可靠性要求，增加产量，降低消耗的技术。本项目针对黄光、快速热力过程、化学机械研磨和等离子腐蚀这四个半导体生产的具体制程，研究其建模方法，协同设计批间控制和容错控制方法，实现其容错的批间控制，并构建软件平台，利用半导体企业的产品数据加以验证，为未来该方法的大规模应用奠定理论基础。本项目在国内首度提出研究批间控制方法，并基于生产实践以混合产品制程为研究对象，在国际上首度提出容错的批间控制方法的设计，具有重要的理论意义和实用价值。