电子辐照SiO2--Si结构中的电离缺陷与能量沉积

基本信息
批准号:18870150
项目类别:面上项目
资助金额:6.00
负责人:靳涛
学科分类:
依托单位:中国科学院新疆物理研究所
批准年份:1988
结题年份:1991
起止时间:1989-01-01 - 1991-12-31
项目状态: 已结题
项目参与者:马忠权,伍俊杰,张兴发,黄建明
关键词:
能量沉积电离缺陷电子吸收剂量
结项摘要

项目摘要

项目成果
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数据更新时间:2023-05-31

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