多层复合PZT铁电薄膜的抗疲劳特性及其机理研究

铁电薄膜的极化疲劳特性及相关机理研究是铁电薄膜存储器应用需要解决的关键问题。本项目研究多层复合Pb(Zr,Ti)O3(PZT)铁电薄膜的抗疲劳特性及其机理。采用脉冲激光沉积（PLD）和化学溶液沉积（CSD）方法制备这种复合PZT铁电薄膜，研究薄膜的微结构及介电、铁电和极化疲劳特性；研究膜层与膜层、膜层与铂电极（或氧化物电极）之间的界面特性、界面反应、成分分布，通过多层膜的构筑设计、工艺参数优化等方法，得到自发极化强度较高、漏电流密度较低且极化疲劳特性良好的多层复合PZT铁电薄膜；研究升降温过程中空间电荷的分布及其对极化疲劳特性的影响，研究不同的界面以及不同的电极结构对极化疲劳的影响，从而深入认识铁电薄膜的极化疲劳机理。本课题将为开发高性能复合铁电薄膜材料及研制新一代铁电存储器件提供科学依据，为设计制备其它复合功能薄膜提供良好的科学积累。