基于微系统的小功率微波等离子体源的研究
基本信息
批准号：60471015
项目类别：面上项目
资助金额：20.00
负责人：廖斌
学科分类：
依托单位：华东师范大学
批准年份：2004
结题年份：2007
起止时间：2005-01-01 - 2007-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：朱守正,金传榆,陈慧产,杨运刘,胡淑欣,张莲,曹焕丽
关键词：
微带电路MEMS工艺微小功率微波等离子体
结项摘要
基于微系统的小功率微波等离子体源就是用微小微波功率使气体电离，产生10毫米甚至0.2毫米尺寸的等离子体，这种微小功率微波等离子体源具有易与其它MEMS系统集成等特点。本课题拟对基于微系统的小功率微波等离子体激励机理，基于微带电路的2.45GHz微波等离子体源技术作深入研究，通过采用MEMS工艺及对微小功率微波等离子体源中微带电路基片材料的研究与优选，以达到微波等离子体源的小型化以及与其它MEMS系
项目摘要
项目成果
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暂无此项成果
数据更新时间：2023-05-31
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