基于ECR等离子体的13.5nm极紫外光源的研制

本项目作为电子回旋共振（ECR）等离子体向商业化极紫外（EUV）光刻光源发展的一项阶段性研究，计划研制一台紧凑型全永磁ECR等离子体光源，对其在EUV光刻技术中的应用前景进行探索，具体内容为：（1）研究等离子体的各工作参数对其在13.5nm波长的极紫外辐射强度的影响，并通过优化各参数实现等离子体在13.5nm极紫外辐射的局域增强；（2）利用炉子加热、MIVOC、溅射等方法产生Sn、Li这些极紫外转化效率高的等离子体，并研究各方法的转化效率；（3）通过修正等离子体形状，优化收集光学系统来提高对等离子体发出的13.5nm极紫外辐射的收集效率；（4）以前面的研究结果为基础，提出适用于EUV光刻的全超导ECR等离子体光源的设计方案。本项目将从全新的角度对ECR等离子体的应用前景进行探索，同时对极紫外光刻（EUVL）技术的发展也具有极其重要的现实意义。