基于简并-解并原理的自参比高灵敏度生化检测微陀螺

基本信息
批准号:60772030
项目类别:面上项目
资助金额:30.00
负责人:焦继伟
学科分类:
依托单位:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
批准年份:2007
结题年份:2010
起止时间:2008-01-01 - 2010-12-31
项目状态: 已结题
项目参与者:张颖,宫昌萌,宓斌玮,周健,赵全斌,段飞,葛道晗
关键词:
高灵敏度微陀螺生化检测自参比模态简并-解并
结项摘要

以悬臂梁为代表结构的微纳传感器能实现生化检测,在灵敏度、响应时间等方面优势明显,但温度等环境参数的变化会影响检测精度和准确度。参比结构或器件是基本的解决方式,这增加了系统控制难度,也限制了检测极限。.我们提出一种新型的基于模态简并-解并原理的自参比高灵敏度生化检测微陀螺。该微陀螺结构具有轴对称性,其驱动与检测模态是简并的。当器件表面发生质量吸附后,简并频率发生分裂,即模态解并,而其频率分裂之差与吸附质量成正比。环境参数变化对简并模态的影响是相同的,可相互抵消,这就是该器件的自参比性。这是其最大特点,也是与悬臂梁型传感器的最大区别,意味着更高的检测准确性。同时,器件具有微纳特征尺度,能获得很高的检测灵敏度。本项目将深入研究基于简并-解并原理的生化检测微陀螺设计、检测极限的影响机制、结构健壮性设计;研究轴对称性器件的微纳制造;实现高精度(频率)读出电路;开展生化痕量检测基础实验和数据分析。

项目摘要

项目成果
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数据更新时间:2023-05-31

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