等离子体电子温度的控制用于反应粒子选择的研究

在由辉光放电产生的非平衡等离子体中，电子温度是一个重要的参量，它对等离子体中反应粒子的产生、状态等起决定作用，进而影响合成材料的性能和结构。本研究拟采用加金属栅网及调整过程工艺参数等方法实现对电子温度的控制，并用光谱、质谱和探针等研究电子温度和反应粒子之间的关系，通过对电子温度的控制来实现选择反应粒子的目的。