钇稳定氧化锆(YSZ)衬底上硅薄膜生长及其性能研究
基本信息
批准号：68676026
项目类别：面上项目
资助金额：4.00
负责人：郁元桓
学科分类：
依托单位：中国科学院半导体研究所
批准年份：1986
结题年份：1989
起止时间：1987-01-01 - 1989-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：
关键词：
***
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数据更新时间：2023-05-31
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