AlN/Diamond/Si多层膜声表面波器件及其高频特性研究
基本信息
批准号：60576011
项目类别：面上项目
资助金额：22.00
负责人：杨保和
学科分类：
依托单位：天津理工大学
批准年份：2005
结题年份：2008
起止时间：2006-01-01 - 2008-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：张秋燕,魏臻,熊英,李明,马靖
关键词：
叉指换能器高频声表面波AIN/金刚石多层膜
结项摘要
SAW器件已成为先进电子系统的关键器件之一，金刚石多层膜结构的相关工作是影响我国SAW器件发展的瓶颈，亟待进一步深入研究。AIN/diamond多层膜结构SAW器件可以达到更高的频率；相速度速度频散很小；中心频率随温度升高而漂移很小，比其它多层膜结构有特殊的优势。.用Maxwell方程组和细观力学理论，运用用CFD-ACE软件和ANSYS软件，模拟计算"AlN/金刚石"多层膜SAW性能,找出多层膜体系的优化方案；研究加少量氧有利于生成平整优质的金刚石膜机理。我们提出：氧更容易刻蚀晶粒突出的尖角部位，有利于抑制竞争性生长，有利于生成平整优质的金刚石膜。
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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