高频LiNbO3/金刚石声表面波滤波器研究
基本信息
批准号：60276001
项目类别：面上项目
资助金额：20.00
负责人：杨保和
学科分类：
依托单位：天津理工大学
批准年份：2002
结题年份：2005
起止时间：2003-01-01 - 2005-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：陈希明,常明,唐宁,季来运,吴晓国,曲长庆,李燕,于剑军
关键词：
高频声表面波器件金刚石薄膜
结项摘要
用准分子激光诱导低温沉积纳米金刚石薄膜，准分子激光辅助负衬底偏压定向生长LiNbO3膜研究LiNbO3/金刚石多层薄膜体系声表面波性能，选出优化结构，制成声表面波滤波器样件，为移动通信光纤通信提供高频、高机电耦合系数、高耐久性、低成本的各种声表面波器件打下工艺和理论基础。同时研究随机定向生长金刚石膜、LiNbO3压电薄膜结晶动力学机理。
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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