异质外延金刚石膜界面β-SiC定向结构及膜的电性能研究
基本信息
批准号：59682001
项目类别：专项基金项目
资助金额：12.00
负责人：何贤昶
学科分类：
依托单位：上海交通大学
批准年份：1996
结题年份：1999
起止时间：1997-01-01 - 1999-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：沈荷生,张志明,张流强
关键词：
异质外延CVD生长界面微结构
结项摘要
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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