不同化学计量比B-C系列薄膜的脉冲激光沉积与成分控制

项目以不同化学计量比B-C系列薄膜的最佳脉冲激光沉积工艺及其组成成分控制为研究目标，重点研究B-C陶瓷的放电等离子反应烧结，揭示原料配比、模具渗碳与B-C陶瓷中硼碳比之间的变化规律及其对B-C陶瓷物相、微观结构、纯度、致密度等的影响，实现B-C陶瓷成分的准确控制，制备出高纯、高致密、不同化学计量比的B-C系列陶瓷；研究B-C薄膜的脉冲激光沉积工艺，建立靶材中硼碳比、沉积工艺参数（激光能量密度、衬底温度、衬底-靶距、衬底与激光羽辉中心夹角等）与沉积B-C薄膜中硼碳比之间的定量关系，探讨沉积工艺参数以及后续退火对B-C薄膜物相、晶态、表面形貌、微观结构和纯度等的影响，获得结构完整、具有既定化学计量比的B-C系列薄膜，阐明其成膜机理和成分控制技术。预期成果将为国家点火装置所需的B-C薄壳类高增益靶丸的制备提供合理的沉积工艺和成膜理论依据。