自组装有序、微区定域纳米Si量子点阵列的新技术

自组装制备有序、微区定域硅量子点阵列是纳米器件和纳米电子学研究的基础。本项目利用准分子超短脉冲干涉激光束与超薄非晶硅层(小于10 nm)互作用自组装形成平面或三维空间有序分布纳米硅量子点阵列。探索用特定设计的移相光栅模版定域生长硅量子点阵列的新方法。达到调控低维有序体系结构和性能的目的。为硅纳米器件和光电集成研究提供新途径。