基于频率可调声表面波的新型微陀螺设计理论与关键技术研究

本项目拟采用声表面波的角速度效应来研制一种新型微陀螺。应用声表面波原理研制微陀螺国外已有文献报道，即通过在压电薄膜上制作声表面波器件获得陀螺效应。这种陀螺存在的主要问题是压电薄膜材料上的声表面波频率固定，无法实现匹配调整。为此，本项目提出利用超磁致伸缩/压电复合薄膜制作IDT以实现频率匹配，达到提高陀螺性能的目的。主要研究内容包括：探讨基于Coventorware软件进行叉指换能器结构设计、分析与优化方法，分析叉指换能器结构参数对SAW陀螺器件性能的影响变换规律，研究复合薄膜的磁-应变-电、磁-模量-共振频率耦合关系及变化规律，掌握IDT频率匹配的有效调制方法，以提高该类陀螺的性能，从而为惯性系统及捷联系统的微型化、高精度化提供优良可靠的基础器件。