微结构化学传感器研究

本课题建立了电化学自停止各向异性腐蚀、反应离子刻蚀、双面光刻等微电子机械加工工艺开展了敏感机理、结构设计的研究，研制出集气敏、温敏、加热元件于一体的微结构气敏传感器。该器件是采用Pt溅射薄膜Pt-Ni过渡层、Lift-off剥离技术来制作加热电阻、叉指电极和测温元件；采用Si3N4/SiO2/Si3N4多层薄膜作为绝缘层和支撑层，解决了应力和绝缘两大难题；采用溶胶凝胶法制法备WO3薄膜、采用反应溅射法制备SnO2-CuO气敏薄膜，制备出对硫化氢气体高灵敏高选择性的薄膜并进行结构分析以及与微电子工艺兼容性研究，器件功耗小于100mW，可分辨1ppm。发表论文13篇，专利1项，超额完成指标。为其他微结构传感器研究打下良好的基础。